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안녕하세요.
인아코포입니다.
JEL Robot은 Wafer 반송 로봇으로 2inch ~ 12inch 다양한 Wafer 반송이 가능합니다.
또한, 얼라이너는 하나의 Type만을 설정하는 것이 아닌 2~6inch 4~8inch 8~12inch로 설정 가능하여
얼라이너 한개로 2가지 이상의 Wafer를 사용할 수 있습니다.
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JEL은 일본 제품이며, 자세한 내용은 인아코포로 문의주시면 대응을 해드리고 있으니 언제든지
연락주시면 감사하겠습니다.
인아코포 대표 번호
02)2026-0660
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[특허]웨이퍼 이송 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송 방법
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Date Published: 11/3/2022
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Source: you.dianhac.com.vn
Date Published: 8/17/2022
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AL120-12 웨이퍼 이송장치 – Olympus-IMS.com
AL120-12는 웨이퍼 검사를 손쉽고 효율적으로 하기 위한 장비로, FOUP와 FOSB 타입 모두 사용가능하며 마지막 공정 검사에 알맞는 가격대비 높은 효율성을 지닌 장비 …
Source: www.olympus-ims.com
Date Published: 4/12/2021
View: 5449
[강세 토픽] 반도체·디스플레이 – 이송장비 테마, 로체시스템즈 + …
반도체 생산과정을 살펴보면, 반도체 생산 라인에 있는 이송용 로봇이 웨이퍼가 담긴 풉(FOUP)을 각 공정 장비로 옮김. 로드포트 모듈은 풉 도어를 …
Source: biz.chosun.com
Date Published: 10/11/2021
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주제에 대한 기사 평가 웨이퍼 이송 장비
- Author: 인아코포
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- Date Published: 2020. 3. 19.
- Video Url link: https://www.youtube.com/watch?v=UPyIf9w71h4
반도체 웨이퍼 이송장비 여기도 한다 : 로체시스템즈(071280) – 웨이퍼 이송장비, 글라스 이송장비
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※ 반도체 이송장비가 무엇인지 먼저 보고 가자.
※ 디스플레이 글라스 이송장비도 보고 가자.
1. 앞서 소개한 싸이맥스의 경쟁사 로체시스템즈!
-. 로체시스템즈는 TFT-LCD 및 반도체 제조 장비 제작을 주 영업목적으로 1997년 11월 1일 설립되었으며, 2003년 11월 코스닥증권시장에 상장한 주권상장법인임.
1) 동사는 반도체/디스플레이 이송장비 제조 업체로, 반도체장비부품 제조 판매인 일본 로체와 기술도입 계약을 통하여 습득한 기술력으로 웨이퍼 이송장비, Glass Cutting Machine 등을 제조하고 있음.
2) 매출비중(2019년 기준)은 디스플레이용(Indexer 외) 30%, 반도체용(EFEM 외) 61.6%, Laser Glass Cutter 2.3%, 기타 5.9% 수준임.
3) 주요 거래선은 삼성전자, 삼성디스플레이 등이며, 고객사양에 의한 주문생산 판매함.
-. 동사의 주력 생산제품은 디스플레이와 반도체 공정 과정에서 부품의 이송을 전담하는 장비로 평판디스플레이(FPD) 이송 시스템인 인덱서(Indexer)와 각종 물류장비, 웨이퍼 이송 시스템(EFEM) 등이 있음.
1) 동사의 FPD 물류용 Indexer-Glass 이송장비는 디스플레이 공정으로 투입된 대형 글라스를 반송전용 Robot이 포함된 시스템을 이용하여 각 해당 공정장치까지 글라스를 이송 및 적재함으로서 각 공정간 이송 자동화 역할을 하는 장비임.
2) 동사의 EFEM-웨이퍼이송장비는 반도체 소자의 생산공정 중 300mm 웨이퍼를 각 공정장치로 이송 및 적재하는 시스템임.
3) 이는 반도체 생산공정의 해당 공정장비까지 웨이퍼를 이송 및 적재함으로서 각 공정간 이송 자동화 역할을 하는 장비임.
4) 동사의 Load port 장비는 EFEM의 로봇과 이송공정상 대응하는 Wafer Foup 자동개폐장치임.
▲ 로체시스템즈의 Mask를 공정장비에 반송해 주는 장비. ▲ 로체시스템즈의 Wafer를 공정장비에 반송해 주는 장비.
-. 2010년대부터 상용화에 성공한 로체시스템즈의 레이저(Laser) 절단 장비는 현재 안정적인 수입원으로 자리 잡는데 성공함.
1) Laser GCM으로 불리는 해당 장비는 디스플레이 원판유리를 자르는 공정에서 세계 최초로 Laser Beam을 이용한 비접촉식 차세대 Glass Cutting 장비임.
2) 기존 Glass Cutting 장비는 다이아몬드 휠을 사용하여 절단하여 이물에 취약한데, 동사의 장비는 Laser를 이용해 Glass를 절단하므로 다이아몬드 휠 커팅방식 대비 Glass 내 균열을 발생시키지 않고 고강도 및 고품질 절단이 가능함.
3) 동사의 Bending Machine 장비는 디스플레이 OLED 패널 제조 공정 중 Module 공정에 사용됨.
4) FPCB가 부착된 Cell을 단축 조합 Robot 및 Vision Camera를 이용하여 Align을 확인하고 틀어진 정도를 보정한 후 Bending 공정을 진행하는 장비임.
※ 로체시스템즈 타이완 공홈에 있는 이송장비 영상들.
2. QD-OLED와 함께할 로체시스템즈.
-. 로체시스템즈의 주요 고객사인 삼성디스플레이가 퀀텀닷(QD) 디스플레이 위주로 사업구조 재편 움직임을 보이고 있음.
1) QD-OLED 디스플레이는 파란 빛을 내는 청색 유기발광다이오드(OLED) 위에 퀀텀닷 컬러필터를 얹어 색 재현력을 높인 디스플레이임.
2) 퀀텀닷은 빛을 정교하게 만들어낼 수 있는 나노미터 크기의 반도체 입자로 에너지 효율과 화질을 동시에 개선할 수 있는 소재이므로 QD-OLED의 핵심은 소재에 있음.
3) 현재 삼성전자와 삼성디스플레이가 퀀텀닷(QD)디스플레이 TV 상용화를 추진키로 합의하면서 양사의 향후 행보에 관심이 쏠리고 있음.
4) 삼성이 차세대 대형 디스플레이 기술로 QD디스플레이를 육성하겠다고 공헌한 만큼 앞으로 구성될 서플라이체인과 설비 투자 및 QD디스플레이 진영 확대 전략을 확인해볼 필요가 있음.
5) 삼성디스플레이는 현재 충남 아산에 8.5세대 유리 원장 기준 월 3만장 규모의 QD디스플레이 양산 라인(Q1)을 구축하고 지난해 12월부터 시험 가동에 들어감.
6) 삼성디스플레이의 Q1의 생산능력은 50~60인치 기준 연간 200만 대 TV에 대응할 수 있는 규모임.
7) 세계 TV 시장이 연간 2억대 이상임을 감안하면 전체 1% 정도에 해당되나, QD디스플레이는 상용화를 앞둔 기술이기 때문에 대량 생산과는 아직 거리가 있음.
-. 삼성디스플레이는 지금까지 약 3조원을 QD에 투자한 것으로 알려졌으며, QD 투자로 계획한 총 13조 원 중 일부만 사용한 상황임.
1) 현재 삼성디스플레이의 남은 자금이 충분해 증설 투자 가능성이 높으며, 구체적인 집행까지는 다소 시간이 걸릴 전망임.
2) 기술 개발 및 사업 추진 속도, 시장 상황을 종합 고려할 때 삼성디스플레이가 연내보다는 내년 이후 증설 투자를 본격화할 것이란 분석이 우세함.
3) 삼성디스플레이는 지난해 8월 충남 아산에서 QD 설비 반입식을 가졌으며, 이날 QD디스플레이의 발광을 담당하는 블루 OLED용 증착 설비를 반입함.
4) 이 밖에도 어플라이드의 박막형성용 화학기상증착(CVD) 장비, 엘오티베큠의 진공펌프, 에프엔에스테크, 아이씨디, 로체시스템즈, 케이맥, 참엔지니어링 등이 삼성디스플레이의 QD디스플레이 라인을 구축할 때 장비를 반입한 이력이 있음.
5) QD-OLED 생산공정은 기존 LCD 대비 생산공정이 복잡하고 라인이 길어지게 되므로 동사의 물류장비에 대한 수요가 증가할 것으로 기대됨.
▲ 충남 아산시 탕정면 삼성디스플레이 1단지에 입고되는 QD-OLED 장비
3. 암흑기는 지나가고 있다, 아니 지나갔다!
-. 로체시스템즈는 2017년 당시 디스플레이 고객사 투자 증가 호재로 매출액 3370억원에 영업이익 21억 원, 당기순이익 33억 원을 기록하는 등 꾸준한 흑자기업이었음.
1) 그러나 동사는 2016년을 기점으로 영업실적이 내림세를 보였으며, 영업이익은 2016년 46억 원, 2017년 21억 원, 2018년 -10억 원으로 감소했음.
2) 중화권 디스플레이업계 경쟁 심화와 고객사 투자 감소 등으로 2018년 매출은 전년 대비 78% 감소했고, 10억 원의 영업손실을 기록했었음.
3) 동사는 2019년 실적이 다시 흑자로 돌아섰으며, 2020년 매출액은 1800억원을 기록함.
-. 이 같은 위기에서 찾은 해법이 제품 다양화였으며, 동사는 레이저 장비 분야 신기술과 반도체 공정 장비 개발 등을 진행하며 새로운 사업 아이템 확보에 나섬.
1) 동사는 2017년부터 유기발광다이오드(OLED) 패널과 관련한 후공정 장비 분야에도 진출하여 관련 제품을 내놓기 시작했으며, 사업 확장은 수익성 개선으로 이어짐.
2) 특히 동사는 2020년 본격적으로 OLED 모듈공정 장비인 벤딩(Bending) 등으로 수익을 늘리기 시작했으며, 작년 3분기까지 564억 원을 기록하면서 전체 매출의 38.1%를 차지함.
3) 이에 힘입어 20년 3Q까지 영업이익과 당기순이익은 전년동기대비 각각 161.8%, 911.8% 증가한 103억 원, 75억 원을 기록함.
4) 동사는 21년 1Q 영업이익 22억 원으로 전년비 +120%를 기록하였으며, 2Q는 44억 원을 기록함(전년비 -15.5%).
-. 로체시스템즈는 생산성 증대를 위한 신공장 필요성이 커짐에 따라, 2017~2018년 어려운 시기를 보내고 있는 와중에 과감하게 공장 투자 결정을 선택함.
1) 동사는 기존 사옥에 1000평 이상의 클린룸을 보유하고 있었으나, 규모가 부족해 700억~800억원 가량 수주를 놓치는 상황이 발생했었고 결국 회사 성장을 위한 공장 증설로 의사 결정을 내림.
2) 건설에 필요한 자금 마련을 위해 2017년 1월에 188억원 규모의 유상증자를 결정함.
3) 같은 해 10월 금융기관으로부터 102억 원을 차입해 2018년부터 착공에 들어감.
4) 동사는 올해 신공장 가동을 본격화하면서 한 단계 높은 수준의 생산량이 기대되며, 주요 고객사인 삼성디스플레이가 QD 디스플레이 전환 투자를 예정대로 진행하면 수주 확대 및 물량 소화가 예상됨.
5) 업계에 따르면 동사는 올해 초에 수주받았던 L8-1 라인 관련 장비를 순차적으로 납품 중임.
6) 동사는 아울러 베트남 후공정 모듈 투자도 올해 실적 호재로 작용할 전망임.
4. 느낌이의 투자 의견 종합
-. 2021년 하반기부터 삼성디스플레이의 QD 디스플레이 전환 투자와, 글로벌 디스플레이 업계의 투자가 크게 늘어남에 따라 동사의 실적도 고성장할 것으로 예상됨.
-. 또한 동사는 반도체/디스플레이의 단순 이송장비 뿐만 아니라 디스플레이 Glass Cutting Machine, Bending Machine 등 고난도 기술력이 필요한 제품군도 포트폴리오에 포함, 사업을 영위 중임.
-. 동사의 밸류에이션 또한 2021 실적 기준 PER 11배로 동종업계 대비 저평가되어 있고, 21년 실적 성장이 예상되어있는 만큼 주가에 적극적인 관심이 필요한 시점임.
매수의견 : ★★★★☆
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웨이퍼 이송 | 장비 부품 엔지니어링 플라스틱 및 금속 정밀 가공 제조업체 – Shen-Yueh (SYT)
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SHEN-YUEH가 생산한 4인치에서 8인치 웨이퍼 이송과 기존 이송의 차이점은 클램프의 위치 지정 블록이 추가되어 작업자가 클램프 상자를 지정된 위치에 더 쉽게 배치하고 고정할 수 있습니다. 클램프 상자, 따라서 인간의 조작 오류의 문제를 줄입니다. 푸시로드는 기존의 전송 설계와 다른 선형 가이드웨이로 설계되었습니다. 동작이 더 부드럽고 안정적입니다. 푸시로드 헤드는 전도성 정전기 물질로 만들어져 칩의 정전기 파괴를 방지하고 제품의 비정상적인 비율을 줄일 수 있습니다. 우리는 고객에게 전문적인 제품 상담 서비스를 제공합니다. 고객이 다른 재료 및 기능 변경이 있는 경우 지정된 재료 및 기능에 따라 제품을 설계 및 제조할 수 있습니다. 우리는 또한 제품의 각 부품 목록과 적시에 예비 부품 교체와 함께 후속 제품 유지 관리 서비스를 제공할 수 있습니다. 제품 유지 보수 중 유지 보수가 완료 될 때까지 고객이 사용할 수 있도록 다른 웨이퍼 이송이 제공됩니다. Shen-Yueh (SYT)는 대만의 고품질 CNC 가공, 에어 나이프, PEEK 플라스틱 가공, 금속 가공, PI 플라스틱 가공, 베어링 제조업체입니다. 우리는 반도체 및 패널 산업에서 CNC 부품 가공 및 장비 변환 경험에 중점을 둡니다(2006년 이후). 10년 이상 동안 설계, 개발 및 조직 최적화의 문제를 해결하고 부품의 수명 주기를 늘려 많은 고객의 비용을 절감하고 제조 샘플을 신속하게 제공하여 고객 개발 시간을 단축했습니다. 2006년부터. 적시에 예비 부품을 교체하는 것뿐만 아니라 제품의 각 부품에 대한 재고; 제품 유지 보수 중 유지 보수가 완료 될 때까지 고객이 사용할 수 있도록 다른 웨이퍼 이송이 제공됩니다. Shen-Yueh (SYT)는 대만의 고품질 CNC 가공, 에어 나이프, PEEK 플라스틱 가공, 금속 가공, PI 플라스틱 가공, 베어링 제조업체입니다. 우리는 반도체 및 패널 산업에서 CNC 부품 가공 및 장비 변환 경험에 중점을 둡니다(2006년 이후). 10년 이상 동안 설계, 개발 및 조직 최적화의 문제를 해결하고 부품의 수명 주기를 늘려 많은 고객의 비용을 절감하고 제조 샘플을 신속하게 제공하여 고객 개발 시간을 단축했습니다. 2006년부터. 적시에 예비 부품을 교체하는 것뿐만 아니라 제품의 각 부품에 대한 재고; 제품 유지 보수 중 유지 보수가 완료 될 때까지 고객이 사용할 수 있도록 다른 웨이퍼 이송이 제공됩니다. Shen-Yueh (SYT)는 대만의 고품질 CNC 가공, 에어 나이프, PEEK 플라스틱 가공, 금속 가공, PI 플라스틱 가공, 베어링 제조업체입니다. 우리는 반도체 및 패널 산업에서 CNC 부품 가공 및 장비 변환 경험에 중점을 둡니다(2006년 이후). 10년 이상 동안 설계, 개발 및 조직 최적화의 문제를 해결하고 부품의 수명 주기를 늘려 많은 고객의 비용을 절감하고 제조 샘플을 신속하게 제공하여 고객 개발 시간을 단축했습니다. 2006년부터. 제품 유지 보수 중 유지 보수가 완료 될 때까지 고객이 사용할 수 있도록 다른 웨이퍼 이송이 제공됩니다. Shen-Yueh (SYT)는 대만의 고품질 CNC 가공, 에어 나이프, PEEK 플라스틱 가공, 금속 가공, PI 플라스틱 가공, 베어링 제조업체입니다. 우리는 반도체 및 패널 산업에서 CNC 부품 가공 및 장비 변환 경험에 중점을 둡니다(2006년 이후). 10년 이상 동안 설계, 개발 및 조직 최적화의 문제를 해결하고 부품의 수명 주기를 늘려 많은 고객의 비용을 절감하고 제조 샘플을 신속하게 제공하여 고객 개발 시간을 단축했습니다. 2006년부터. 제품 유지 보수 중 유지 보수가 완료 될 때까지 고객이 사용할 수 있도록 다른 웨이퍼 이송이 제공됩니다. Shen-Yueh (SYT)는 대만의 고품질 CNC 가공, 에어 나이프, PEEK 플라스틱 가공, 금속 가공, PI 플라스틱 가공, 베어링 제조업체입니다. 우리는 반도체 및 패널 산업에서 CNC 부품 가공 및 장비 변환 경험에 중점을 둡니다(2006년 이후). 10년 이상 동안 설계, 개발 및 조직 최적화의 문제를 해결하고 부품의 수명 주기를 늘려 많은 고객의 비용을 절감하고 제조 샘플을 신속하게 제공하여 고객 개발 시간을 단축했습니다. 2006년부터. PEEK 플라스틱 가공, 금속 가공, PI 플라스틱 가공, 대만 베어링 제조업체. 우리는 반도체 및 패널 산업에서 CNC 부품 가공 및 장비 변환 경험에 중점을 둡니다(2006년 이후). 10년 이상 동안 설계, 개발 및 조직 최적화의 문제를 해결하고 부품의 수명 주기를 늘려 많은 고객의 비용을 절감하고 제조 샘플을 신속하게 제공하여 고객 개발 시간을 단축했습니다. 2006년부터. PEEK 플라스틱 가공, 금속 가공, PI 플라스틱 가공, 대만 베어링 제조업체. 우리는 반도체 및 패널 산업에서 CNC 부품 가공 및 장비 변환 경험에 중점을 둡니다(2006년 이후). 10년 이상 동안 설계, 개발 및 조직 최적화의 문제를 해결하고 부품의 수명 주기를 늘려 많은 고객의 비용을 절감하고 제조 샘플을 신속하게 제공하여 고객 개발 시간을 단축했습니다. 2006년부터. 조직 최적화 및 부품 수명 주기 증가, 많은 고객의 비용 절감 및 제조 샘플을 신속하게 제공하여 고객 개발 시간을 단축합니다. 2006년부터. 조직 최적화 및 부품 수명 주기 증가, 많은 고객의 비용 절감 및 제조 샘플을 신속하게 제공하여 고객 개발 시간을 단축합니다. 2006년부터.
반도체장비
fnctId=product,fnctNo=0
로봇 Global Leader in Robotics & Automation 모든 산업현장의 자동화 사업분야에서 탁월한 제품의 성능과 지원으로 기술력을 인정받은 제조용 로봇다년간의 축적된 기술력과 경험을 바탕으로 고객의 다양한 요구 사양에 유연하고 긴밀하게 대응하며 고객만족을 실현하고 있습니다.
트랜스퍼 로봇(Transfer Robot) Global Leader in Robotics & Automation FPD 제조공정의 핵심 역할인 이송 및 적재용으로 활용되는 제조용 로봇(Transfer 로봇) 국내 및 해외 주요 FPD 생산현장에 공급하고 있으며, 1G~10G급까지 다양한 Size 및 종류의 모델을 보유하여 고객만족을 실현하고 있습니다.
반도체장비 Global Leader in Robotics & Automation 반도체 제조공정의 핵심 역할인 이송 및 적재용으로 활용되는 제조용 로봇(Transfer 로봇)과 각종 반도체 공정내 Wafer의 원활한 이송에 활용되는 반도체 장비로써, 국내 및 해외 주요 반도체 생산현장에 공급하고 있으며, 다양한 종류의 모델을 보유하여 고객만족을 실현하고 있습니다.
STAGE Global Leader in Robotics & Automation 각종 FPD산업의 공장자동화 및 물류시스템용 이송장치 등 공정장비 및 초정밀 검사장비의 기본 Base Machine인 정밀Stage국내 및 해외 FPD 시장의 공정장비 및 그 외 각종 초정밀 가공기 및 검사의 기초 제품을 공급하고 있으며, 다양한 Size 및 종류의 모델을 보유하여 고객만족을 실현하고 있습니다
[특허]웨이퍼 이송 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송 방법
초록
웨이퍼 이송 장치에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 EFEM(Equipment Front End Module), 로드락 모듈 및 프로세스 모듈을 구비하고, 특히, 상기 EFEM과 상기 로드락 모듈 간의 웨이퍼 이송은 대기압에서 진행되고, 상기 로드락 모듈과 프로세스 모듈 간의 웨이퍼 이송은 진공에서 진행된다. 상기 EFEM은 외부로부터 웨이퍼를 이송한다. 상기 로드락 모듈은 진공과 대기압으로 압력을 변화시키며, 상기 EFEM으로부터 웨이퍼를 이송한다. 상기 프로세스 모듈은 상기 로드락 모듈로부터 웨이퍼를 이송받아 소정의 공정을 진행한다.
웨이퍼 이송 장치에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 EFEM(Equipment Front End Module), 로드락 모듈 및 프로세스 모듈을 구비하고, 특히, 상기 EFEM과 상기 로드락 모듈 간의 웨이퍼 이송은 대기압에서 진행되고, 상기 로드락 모듈과 프로세스 모듈 간의 웨이퍼 이송은 진공에서 진행된다. 상기 EFEM은 외부로부터 웨이퍼를 이송한다. 상기 로드락 모듈은 진공과 대기압으로 압력을 변화시키며, 상기 EFEM으로부터 웨이퍼를 이송한다. 상기 프로세스 모듈은 상기 로드락 모듈로부터 웨이퍼를 이송받아 소정의 공정을 진행한다.
신뢰할 수 있는 웨이퍼 이송 로봇
반도체에 널리 사용되는 재료인 실리콘은 절삭 , 노광, 식각, 노출, 증착 등 수많은 프론트 엔드 공정을 통하여 표면에 ‘인쇄 회로’를 갖는 디스크 모양의 웨이퍼가 됩니다. 이후, 이 웨이퍼는 본딩, 와이어링, 패키징 및 테스팅을 포함한 수많은 백엔드 공정을 거쳐 결과적으로 강력한 기능을 갖는 다량의 초소형 IC 유닛이 됩니다.
살제로 현대기술은 나노미터 수준의 두께로 웨이퍼 제조를 가능하게 하고 있습니다.하지만 이렇게 얇은 웨이퍼 두께 때문에 이송 도중 쉽게 손상이 발생할 수 있으며, 전 공정에 걸쳐 웨이퍼 표면에 먼지가 없어야 한다는 점 또한 중요한 사실입니다. 요즘은 대부분의 제조업체들이 반도체 제조에서 중요한 작업 중 하나인 웨이퍼 이송에 사람이 아닌 로봇을 사용하고 있습니다.
RND의 개발 팀장인 정현국씨는 다음과 같이 말합니다. “대부분의 웨이퍼 이송 로봇은 프론트 엔드 공정에 사용됩니다. 로봇은 일반적으로 수많은 리니어 및 로터리 모션 제어기를 가지며,각 공정 스테이션의 컨테이너로 웨이퍼를 이송하는여러 개의 축을 가지고 있습니다.
진공, SCARA, WET 및 직교 좌표계와 같은 현장의 요구를 만족시키기 위해 시장에는 다양한 웨이퍼 이송 로봇이 출시되어 있습니다. 직교 좌표계 타입 로봇에 대해 한 예를 들면, 이 로봇은 웨이퍼 두 개를 동시에 처리할 수 있는 듀얼 암 설계를 채택하고 있습니다. 로봇의 전체 몸체는 캐리지에 장착되어, 웨이퍼 컨테이너들 간에 고속으로 선형 이동합니다.
로봇은 컨테이너로 웨이퍼를 로드/ 언로드 시키는 R1/ R2축, 볼 스크류 시스템으로 구동되어 로봇의 수직 이동을 제어하는 Z 축, 로봇의 회전을 제어하는 T 축, 컨테이너 간 로봇의 선형 이동을 제어하는 X 축으로 총 5개 축을 가지고 있습니다. R축, Z축, T 축에는 앱솔루트 엔코더가내장된 일본형 서보 모터가 장착되어 있고 X 축에는 이동 범위가 1.5m인 LM10 시리즈 리니어 마그네틱 엔코더가 장착되어 있습니다.”
웨이퍼 이송 장비 | [Jel] Wafer 반도체 이동로봇/Align 답을 믿으세요
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인아코포입니다.
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https://www.inacorp.co.kr/product/product2_2.jsp?pbuid=4
JEL은 일본 제품이며, 자세한 내용은 인아코포로 문의주시면 대응을 해드리고 있으니 언제든지
연락주시면 감사하겠습니다.
인아코포 대표 번호
02)2026-0660
웨이퍼 이송 장치에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 EFEM(Equipment Front End Module), 로드락 모듈 및 프로세스 모듈을 구비하고, 특히, …
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Source: scienceon.kisti.re.kr
Date Published: 6/24/2021
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AL120-12는 웨이퍼 검사를 손쉽고 효율적으로 하기 위한 장비로, FOUP와 FOSB 타입 모두 사용가능하며 마지막 공정 검사에 알맞는 가격대비 높은 효율성을 지닌 장비 …
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Source: www.olympus-ims.com
Date Published: 1/20/2021
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국내 점유율 1위 = 라온텍은 주로 반도체 웨이퍼 진공 로봇과 이송 모듈 장비에 주력하고 있다. 대표적인 예로 7축 진공 로봇을 들 수 있다.
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Source: th.foci.com.vn
Date Published: 7/7/2021
View: 2049
본 발명의 웨이퍼 이송 장치 및 방법은 척의 그라인드 스톤과 척 사이에 탄성 재질의 충격 흡수장치를 장착하여 웨이퍼 픽업시 웨이퍼에 가해지는 압력을 그라인드 …
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Source: patents.google.com
Date Published: 3/21/2021
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주제와 관련된 더 많은 사진을 참조하십시오 [JEL] Wafer 반도체 이동로봇/Align. 댓글에서 더 많은 관련 이미지를 보거나 필요한 경우 더 많은 관련 기사를 볼 수 있습니다.
H — ELECTRICITY
H01 — BASIC ELECTRIC ELEMENTS
H01L — SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
H01L21/00 — Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
H01L21/67 — Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
H01L21/683 — Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
H01L21/687 — Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
H01L21/68714 — Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
AL120-12 웨이퍼 이송장치- 올림푸스 반도체 및 Flat Panel Display 검사솔루션
AL120-12는 웨이퍼 검사를 손쉽고 효율적으로 하기 위한 장비로, FOUP와 FOSB 타입 모두 사용가능하며 마지막 공정 검사에 알맞는 가격대비 높은 효율성을 지닌 장비입니다. 인체공학적인 디자인과 편리성은 오퍼레이터들이 웨이퍼를 교체할 때 안전하고 편리하게 사용할 수 있으며, 휘거나 얇은 웨이퍼도 대응이 가능합니다.
동작하기 쉽고 인체공학적인 디자인
사용자의 의도에 따라 post-process 검사를 할 수 있으며, 특히 인체공학적이고 사용하기 쉽도록 중점을 두어 설계하였습니다.AL120 – 12 시스템은 top 매크로와 back 매크로 및 현미경 검사를 할 수 있습니다.
로봇 진공 pick-up arm 은 현미경 스테이지에서 정확한 배치를 위해 비접촉하여 웨이퍼의 센터링 작업을 수행합니다. 웨이퍼는 현미경 검사를하는 동안 360도 회전할 수 있습니다.
AL120-12는 우수한 해상도와 정밀도를 갖는 고품질의 광학 영상을 제공하는 OLYMPUS MX61L현미경과 호환됩니다.
중앙에 위치한 컨트롤러와 보드위의 매크로 조명장치는 사용자가 오랜 시간 검사하는 동안에도 인체공학적이고 편안한 자세를 유지할 수 있게 합니다.
강력하고 신뢰성 있는 안전 처리
키워드에 대한 정보 웨이퍼 이송 장비
다음은 Bing에서 웨이퍼 이송 장비 주제에 대한 검색 결과입니다. 필요한 경우 더 읽을 수 있습니다.
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